產品概要

E 系列是一款功能進階級探針臺，能實現 1μm 以上的電極 Pad 測試，工效學設計簡單易操作，靈活的UPStart? 模塊化設計，客戶可通過最低的成本升級更多的測試功能，如：毫米波 mmW，FA、MEMS、WLR 和光電等測試。

應用方向

LD/LED/PD的光強/波長測試、晶圓二極管、三極管測試、PCB元器件測試、材料/器件的IV/CV特性測試、、功率器件測試、MEMS器件測試、射頻測試等

POMater? 自適應隔震底座

自適應減震底座設計，德國進口隔震材料增強彈性支撐，實現不同程度的剛性硬度和承載范圍，并有效過濾環境中的震動源干擾，確保探針末端和樣品的Pad穩定接觸，提升測試的穩定性。

卡盤可升降調節

卡盤可微調升降，行程 5mm，精度 10μm，便于樣品快速分離探針。

顯微鏡氣動式快速升降，便于更換顯微鏡和探針卡夾具。

大尺寸機臺設計

大尺寸機身結構，增強操作舒適度。更大空間的針座平臺，支持 加載針卡，提升點針測試效率。

機臺定制應用案例

1、石英樣品臺6英寸，玻璃樣品臺卡在不銹鋼上，不銹鋼卡盤通過立柱固定在X-Y平移臺上部 2、玻璃樣品臺采用高透紫外線玻璃，透光波長單位200nm-1100nm透光率85%以上，樣品固定方式采用彈片固定 3、兩個樣品臺可以拆卸使用

E系列增強型手動探針臺規格參數