產品概要

M 系列探針臺簡易輕便，占有空間小且移動方便。在保證測試精度的前提下，又極具性價比，非常適合高校教 學實驗使用。如果測試器件的PAD 點大于30μm，M 系列則是其中的主選設備之一。該設備能勝任各種DC 直 流，至67GHz 的RF 射頻，MEMS 等測試應用。

應用方向

廣泛應用于DC直流/（IV、CV、I-t、V-t），DC直流/低電流（100fA級）測試 ，1/f噪聲測試 ，器件表征測試，RF射頻等

> 全新升級的卡盤移動平臺

封閉式移動平臺設計，防塵，防誤操作，結構美觀； 移動平臺采用THK精密絲杠傳動+線性移動+無間隙回程差設計+卡盤鎖緊功能，多方面提升卡盤移動精度

> 帶有3段真空吸附控制的卡盤

采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附環固定樣品，卡盤每個真空通道均可獨立控制。標準卡盤中心吸附孔為1mm直徑，亦可根據客戶要求定制。同時卡盤角度可360旋轉，微旋轉調節精度0.002°，方便調節待測樣品位置

> POMater? 自適應隔震底座

自適應減震底座設計，德國進口隔震材料增強彈性支撐，實現不同程度的剛性硬度和承載范圍，并有效過濾環境中的震動源干擾，確保探針末端和樣品的Pad穩定接觸，提升測試的穩定性

M系列小型手動探針臺規格參數：